真空镀膜机控制系统的PLC改造

摘要

分析了ZD450型真空镀膜机的扩散油容易失效和真空计的电离规管容易损环的原因,设计了应用PLC对控制系统进行改造的方案.针对扩散油失效的原因是在关机前没有将真空室里的空气抽净,使扩散油高温氧化所致,增加了关机前的抽空冷却程序.针对电离规管灯丝烧断是由真空室里的压强未小于1×10-2 Pa时通电所致,增加了灯丝启动保护环节,并以FX2N-4AD为A/D转换器作为真空测量机构代替真空计,提高了系统的自动化程度.