电容式数字微位移传感器的研究

摘要

设计了一种基于AD7745芯片的数字式的电容微位移传感器,采用屏蔽电缆和电容保护环技术,有效降低杂散电容的影响。采用数据滤波技术对采样数据进行处理,提高了测量的准确性和重复性。实验结果表明:该电容微位移传感器的分辨力为0.01μm,全量程线性度0.05%,性能较传统电容位移传感器有较大提高。