声明
第一章 绪论
1.1 课题的来源及意义
1.2 国内外研究现状
1.3 线位移传感器的性能表征方法
1.4 电容式线位移传感器非线性处理的发展
1.5 论文主要研究内容
1.6 本章小结
第二章 电容式微位移传感器校准技术的理论分析
2.1 电容式微位移传感器的测量原理
2.2 线位移传感器的校准技术
2.3 激光外差测量技术
2.4 声光调制技术
2.5 数学模型的建立
2.6 本章小结
第三章 基于声光调制技术的位移传感器校准系统的设计
3.1 光路系统的设计
3.2 电路系统的设计
3.3 本章小结
第四章 电容式微位移传感器校准及误差处理
4.1 电容式微位移传感器的校准过程
4.2 校准结果处理
4.3 静态特性校准
4.4 动态特性校准
4.5 本章小结
第五章 测量不确定度分析及量值的溯源
5.1 检定与校准
5.2 测量不确定度评定
5.3校准装置的位移标准值的量值溯源
5.4 本章小结
第六章 总结与展望
6.1 总结
6.2 研究的不足
6.3 展望
参考文献
在读期间公开发表的文章
致谢