电容式微位移传感器设计及其应用研究

摘要

介绍了基于误差补偿的机器人系统原理,采用等电位环和驱动屏蔽电缆技术,设计了电容式微位移传感器及其信号调理电路.该电路包括改进型的电容运算放大器检测电路、精密全波整流电路和滤波电路等.试验结果表明:该电容式传感器的分辨力优于0.1 μm,全量程非线性度小于0.2 %;利用该电容式传感器测试偏摆误差,并进行偏摆误差补偿,机器人的性能得到提高.