沉积原子动能对失配位错成核时原子团挤出的影响

摘要

本文运用分子动力学模拟方法，研究了在外延铝簿膜中单个入射原子动能对失配位错成核时原子团挤出的影响。模拟结果显示：当沉积原子动能为0.14eV时，在原子动能和原子压力的共同作用下，倒正四面体构型原子团在紧挨着沉积原子边缘被挤出；当沉积原子动能大于1.4eV时，在原子动能的影响下，倒正四面体构型原子团能被挤出。位错形核后，失配位错也随之形成。