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新型应变式厚膜力传感器及其应用

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介绍一种可用于称重与测力的电阻应变式厚膜力传感器.其弹性体采用95%Al_2O_3陶瓷双孔梁、应变电阻为钌酸盐厚膜应变电阻,并运用厚膜工艺将应变电阻直接印刷、烧结在弹性体上而形成整体.它的量程最高达500N,精度为0.05%,工作温度达-40～+120℃.

著录项

来源
《自动化仪表》 |1999年第10期|21-23|共3页
作者
马以武; 常慧敏;
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作者单位

中国科学院合肥智能机械研究所;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TH823.032;TP212;
关键词
力传感器; 陶瓷双孔梁; 厚膜应变电阻; 传感器;

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