基于MSC1210的悬臂梁式厚膜力敏传感器的研制

摘要

介绍了一种新型悬臂梁式的厚膜力敏传感器的研制,并基于高性能的MSC1210单片机的数据采集.实验证明,该力敏传感器的非线性、迟滞均不超过0.4%的指标,零点温漂为0.03%(-10℃～+45 ℃、24 g),灵敏度为2.2 mV/V(24 g).此外,由于该力敏传感器输出为数字信号,因此它也可以与其他数字设备结合成一个功能更加强大的仪器,使厚膜力敏传感器得到更广泛的应用.