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多参量MEMS气体质量流量计

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介绍了多参量MEMS气体质量流量计的原理、性能和应用.该流量计采用MEMS流量芯片作为一次传感的核心部件,并配以专门的低功耗二次智能仪表,具有超大量程、微功耗、无压损、小流量灵敏、响应时间快及易于远传和网络化管理等优点,相信该流量计会有很广阔的应用前景.

著录项

来源
《自动化仪表》 |2006年第7期|8-10|共3页
作者
黄立基; 范德林;
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作者单位

美国矽翔微机电系统有限公司,上海,200233;

美国矽翔微机电系统有限公司,上海,200233;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类热工量的测量仪表;
关键词
多参量; 低功耗; 智能仪表;

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