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半导体工艺测试设备应用技术研究

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摘要

半导体工艺根据产品需要会有不同的工艺流程和对应的工艺参数,测试设备实现工艺质量的实时监控.分析半导体工艺线测试设备的需求,做测试应用技术研究.

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来源
《设备管理与维修》 |2018年第12期|147-149|共3页
作者
蔡颖岚; 胡伟; 张经洪; 凌勇; 贺联华;
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作者单位

重庆声光电有限公司,重庆 400060;

重庆声光电有限公司,重庆 400060;

重庆声光电有限公司,重庆 400060;

重庆声光电有限公司,重庆 400060;

重庆声光电有限公司,重庆 400060;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类测试技术及设备;
关键词
半导体工艺测试; 颗粒度测试; 缺陷测试; 扫描电镜;

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