公开/公告号CN113972154A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-01-25
原文格式PDF
申请/专利权人 北京北方华创微电子装备有限公司;
申请/专利号CN202111219963.7
申请日2021-10-20
分类号H01L21/67(20060101);H01L21/677(20060101);H01L21/683(20060101);
代理机构11112 北京天昊联合知识产权代理有限公司;
代理人彭瑞欣;王婷
地址 100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号
入库时间 2023-06-19 14:00:21
机译: 半导体工艺设备中的多腔室模块和平台
机译: 使用有机溶剂清洁半导体工艺设备腔室部件
机译: 使用有机溶剂清洁半导体工艺设备腔室部件