45nm以降の半導体プロセス技術－第15回半導体プロセスシンポジウム報告

摘要

プレスジャーナル主催の第15回半導体プロセスシンポジウム「45nmプロセス以降を実現するための技術と課題」が06年9月7日，東京·神保町の学士会館にて開催された。 座長には東京農工大学名誉教授·武田計測先端知財団常任理事の垂井康夫氏を迎えている。なお，本シンポジウムでの45nmプロセスはThe International Technology Roadmap for Semiconductors (ITRS)が03年のロードマップまで表記していたテクノロジーノードのことを基本的には指し示している。