利用扫描电镜和原子力显微镜测量纳米微孔阳极氧化铝膜

摘要

利用多孔型阳极氧化铝膜(PAA)制备纳米材料是近年来研究的热点之一,对PAA的形貌进行准确的表征具有重要的意义.文章首先分析了传统的扫描电镜(SEM)观测方法中镀膜工艺对样品和测量结果的影响,并提出了对镀膜过渡区进行观测的方案.然后着重研究了利用原子力显微镜(AFM)对PAA进行无损测量的方法,比较了不同测量模式下的测量结果,并利用Reiss模型对"针尖-样品卷积效应"进行了有效的修正.文章的研究结果不仅适用于多孔型阳极氧化铝膜这一研究领域,对于纳米多孔材料的测量也有普遍的参考价值.