利用金属膜的针尖诱导氧化过程和点击原子力显微镜工作模式实现纳米尺度模板复制

摘要

我们讨论用扫描探针显微技术研究超薄无序钛薄膜局域氧化过程,并利用此氧化过程实现薄膜表面纳米尺度网板修饰.实验说明针尖诱导氧化过程可被认为是电化学阳极氧化过程.钛薄膜的电阻、环境相对湿度、施加的电压幅度和氧化持续时间对纳米修饰的速度和分辨率都有影响.使用专门设计的软件,我们实现了基于针尖诱导氧化过程在超薄钛膜上按模板进行的纳米修饰图案.