纳米薄膜厚度的X射线测量

摘要

研究了通过小角度 X射线衍射 (XRD)技术测量纳米薄膜沉积厚度与沉积速率的方法 ,并测定了在 Si C表面沉积 Fe纳米薄膜的厚度和沉积速率。结果表明 ,采用小角度 XRD技术测量纳米薄膜厚度和沉积速率 ,能克服基片性质、表面平整度和金属膜氧化的影响 ,准确。