测量纳米薄膜厚度的显微式差分反射光谱测量系统及方法

摘要

一种测量纳米薄膜厚度的显微式差分反射光谱测量系统及方法，该系统包括光源模块、分束器、测量光路、参考光路、单色成像模块和数据处理模块；光源模块输出非偏振复色平行光束，经分束器形成两束照明光束；一照明光束进入测量光路，汇聚入射至待测样品；待测样品表面的反射光束通过测量光路和分束器，由单色成像模块进行第一光学显微图像采集；另一照明光束进入参考光路，汇聚入射至参考样品；参考样品的反射光束经由参考光路和分束器，由单色成像模块进行第二光学显微图像采集；数据处理模块对不同波长对应的第一、第二光学显微图像进行处理得到差分反射显微光谱。本发明实现对光强漂移的实时测量，基于差分光学测量，有效抑制共模误差。