基于厚度增强因子的X射线厚度测量模型

摘要

通过对X射线测厚仪测量机理的研究,剖析了其机理模型黑匣子.同时根据现场情况,分析射线衰减系数、散射效应以及样板材质等对X射线测厚仪测量精度的影响,提出了一种带厚度增强因子的非线性模型.试验结果表明,厚度在0.1～2.5mm范围内,该模型只需要测量5个厚度点即完成基准曲线制作,测量精度可达到0.1％以内,简化了操作工序.