分析薄膜厚度与成分的卢瑟福背散射技术

摘要

对卢瑟福背散射分析技术的基本原理、试验设备、样品要求及数据处理方法进行了介绍,并举例分析了硅衬底上钛膜厚度的测定,以及钼衬底上钛钼合金膜的实际组分以及氦离子注入杂质的分布范围和实际剂量测定。讨论了卢瑟福背散射技术的发展和应用,介绍了弹性反冲、高能非卢瑟福散射和沟道技术三种分析方法。