X射线多晶衍射试验中FWHM测量的影响因素

摘要

简单介绍了X射线多晶衍射中FWHM的定义及应用。单纯从试验技术的角度出发,使用荷兰Philips公司生产的X'Pert MPD Pro型衍射仪,以Philips公司提供的标准多晶硅片为试样.逐一考察了仪器设置、程序设置、试样制备以及试验数据处理等因素对于FWHM测量结果的影响并分析了其中的原因。在此基础上总结出精确测量FWHM的一套试验方法。