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魏会敏; 罗风光; 曹明翠; 胡巧燕;
华中科技大学激光技术国家重点实验室;
广州银讯光电科技有限公司;
微电机系统(MEMS); 可调光衰减器(VOA); 插入损耗; 偏振相关损耗; 波长相关损耗; 回波损耗;
机译:基于垂直梳式驱动的MEMS可变光衰减器,具有自升式定子
机译:基于垂直梳状驱动MEMS微镜的可变光衰减器
机译:MEMS驱动的激光扫描仪可调光楔的设计与仿真
机译:静电梳驱动的新型MEMS的可调光栅设计
机译:由MEMS致动器驱动的弹性可调光栅,用于荧光光谱应用。
机译:基于集总模型的MEMS压电驱动循环喷墨打印头设计与特性分析
机译:基于PDMS的静电驱动MEMS悬臂梁的设计和制造
机译:使用垂直轴CmOs-mEms驱动和传感的陀螺仪和微镜设计
机译:微型致动器,包括相同的可变光学衰减器及其制造方法,特别是具有通过使用附加电介质层来确保高驱动力的MEMS光学衰减器
机译:降低电压的MEMS静电驱动方法
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