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刘英明; 徐静; 钟少龙; 翟雷应; 吴亚明;
中国科学院上海微系统与信息技术研究所微系统技术重点实验室传感技术联合国家重点实验室;
上海200050;
中国科学院研究生院;
北京100039;
可调光衰减器(VOA); 微光机电系统(MEMS); 微镜; 垂直梳齿驱动器;
机译:可变光学衰减器基于垂直梳状驱动器驱动MEMS微镜
机译:基于垂直梳状驱动MEMS微镜的可变光衰减器
机译:一种基于微纤维可调耦合角的全纤维光学衰减器
机译:具有MEMS微镜的多模纤维的广泛可变的光学衰减器
机译:基于MEMS技术的可调谐光学微镜开关的分析,制造和性能测量。
机译:用于光学相干断层扫描的MEMS扫描微镜
机译:基于环形金属 - 绝缘体 - 金属波导的可调谐等离子体滤波器和可变光学衰减器
机译:使用mems微镜装置演示光学校正校正
机译:例如在光敏器件中使用的基于裸眼的衍射光调制器。光学存储器,具有上微镜,该上微镜在中心包括开孔,因此它根据上微镜和下微镜之间的高度差反射/衍射入射光
机译:MEMS扫描微镜和双轴电磁MEMS扫描微镜器件
机译:由MEMS组件,光衰减器,光开关和光学元件组成的镜板
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