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王蔚; 刘晓为; 兰慕杰; 霍明学;
哈尔滨工业大学,MEMS中心,黑龙江,哈尔滨,150001;
PZT ; 压电厚膜; 丝网印刷 ; MEMS ;
机译:用于振动能量收集的丝网印刷PZT / PZT厚膜双压电晶片MEMS悬臂装置
机译:基于MEMS的PZT / PZT双压电晶片厚膜振动能量采集器的制备与表征
机译:通过在铍青铜薄基板上形成块状PZT厚膜的高性能双压电晶片压电MEMS采集器
机译:使用压电MEMS器件的混合沉积技术改性PZT厚膜改性PZT厚膜
机译:用于压电MEMS机械能收集的PZT薄膜。
机译:自分离pZT厚膜与块状的压电和机电性质
机译:基于mems的pzt / pzt双压电晶片厚膜振动能量收集器
机译:用于微机器人角速率传感和旋转驱动的薄膜pZT压电mEms。
机译:Mn PZT Mn PZT MN掺杂的PZT压电薄膜形成成分和MN掺杂的PZT压电薄膜组成
机译:高密度pzt-pmnn压电厚膜及其制备方法
机译:高密度PZT-PMNN压电厚膜及其使用室温/真空粉末喷涂工艺的制造方法
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