压弯光栅线密度检测

摘要

对压弯光栅的线密度进行了实验研究.首先制作了大变化率的变线距光栅(约9.2 line/mm),并选取薄玻璃(0.16 mm)作为光栅基底材料.其后采用长程面形仪测试压弯后光栅面形,使用衍射法测试压弯前后光栅线密度,从而得到线密度的变化曲线.实验与理论计算结果误差小于0.41 line/mm rms.