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一种制作不同线密度光栅组合件的方法

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摘要

本发明公开一种制作不同线密度光栅组合件的方法，将多种线密度光栅集中于同一个基板上加工生产，大大减少了生产工序步骤。本发明所涉及的工艺制程能够高效率、低成本、连续化地生产不同种类线密度光栅的复合件。

1. 一种制作不同线密度光栅组合件的方法 [P] . 中国专利： CN113970803A . 2022-01-25
2. 一种在全息光栅制作光路中精确调整刻线密度的方法 [P] . 中国专利： CN101793988A . 2010-08-04
3. A method for the production of a grating consisting of two different materials, which can remain initially stiff and after the putting into operation of different thermal expansions is rendered possible [P] . 德国专利： DE2541986A1 . 1976-12-16

机译：一种生产由两种不同材料组成的光栅的方法，该方法可以保持初始刚度，并且在投入使用后具有不同的热膨胀率
4. 1. Use one or two or more different utensils and / or utensils for common piano, hand-held piano or mechanical piano, or use only one of them, make one or more utensils with piano together or separately, and make the stop valve on the note work [P] . ES62700A2 . 1916-09-16

机译： 1.使用一种或两种或多种不同的器皿和/或普通钢琴，手持式钢琴或机械钢琴的器皿，或仅使用其中一种，将一种或多种器皿与钢琴一起或分开制作，并制作截止阀在笔记上
5. EXPOSURE MASK AND METHOD FOR PRODUCING DIFFERENT-PERIOD DIFFRACTION GRATING PATTERN [P] . 日本专利： JPS6091302A . 1985-05-22

机译：制作不同周期衍射光栅图案的曝光罩和方法