tiling grating; grating line-density error; grating-pair compressor; CPA; measurement and compensation;
机译:基于大孔径铺丝光栅压缩机小尺寸镜的平铺误差补偿方法的理论与实验研究
机译:纵向活塞误差在瓷砖光栅压缩机中在二次和高次谐波产生中的作用
机译:超出相位误差补偿:高精度3D表面测量的基于像素映射的纠错
机译:瓷砖光栅压缩机中光栅线密度误差的高精度测量和补偿
机译:使用镜面反射光技术对深亚微米和纳米结构光栅进行高精度,高速测量。
机译:单激励花瓣状电容编码器的周期性非线性误差分析和补偿以实现高精度测量
机译:一系列非线性误差分析和单励磁花瓣形电容编码器的补偿,实现高精度测量
机译:温度误差补偿应用于高速研究压缩机中微型半导体压力传感器的压力测量。