中国科学院微电子研究所中国科学院微电子器件与集成技术重点实验室,北京100029;
哈尔滨理工大学测控技术与通信工程学院测控技术与仪器黑龙江省高校重点实验室,黑龙江哈尔滨150080;
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中国科学院微电子研究所中国科学院微电子器件与集成技术重点实验室,北京100029;
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