纳米级薄膜厚度的精确测量

摘要

对于纳米级多层膜来说,膜厚的精确测量至关重要.本文针对X射线衍射测量薄膜厚度的方法,对所能够获得的测量精度进行了研究.结果表明,无论是单层膜还是多层膜,实现样品台的精密装调都是获得膜厚精确测量结果的前提条件;而在实现了精密装调的情况下,由于多层膜具有相对较窄的衍射峰,因此能够提取出更为精确的峰位数据,与单层膜相比,能够得到更精确的膜厚;经过合理地选择衍射峰,能够获得优于0.01 nm的多层膜周期厚度测量精度.