声明
主要符号释义
第一章 绪论
1.1 薄膜厚度检测技术概要
1.1.1薄膜技术的基本概念
1.1.2 薄膜厚度检测的研究意义
1.1.3 薄膜厚度检测的基本方法
1.2 表面等离子体共振技术概要
1.2.1表面等离子体共振的基本概念
1.2.2 表面等离子体共振技术的历史沿革
1.2.3 表面等离子体共振技术的研究进展
1.3 本课题的研究背景和研究意义
1.3.1纳米级金属薄膜的研究与应用
1.3.2 基于SPR效应的薄膜检测技术的发展
1.4 本课题的主要工作
第二章 基于棱镜型SPR传感器的相位检测方法研究
2.1 SPR效应基本原理的研究
2.1.1等离子体与表面等离子体的概念
2.1.2 表面等离子体波的理论模型
2.1.3 表面等离子体共振效应的产生条件
2.2 SPR耦合器件的原理与应用分析
2.2.1 棱镜型SPR传感器
2.2.2 光纤型SPR传感器
2.2.3 光栅型SPR传感器
2.2.4 波导型SPR传感器
2.3 SPR检测方法的计算模拟分析
2.3.1 强度调制方法
2.3.2 角度调制方法
2.3.3 波长调制方法
2.3.4 相位调制方法
2.4 基于棱镜型SPR传感器的相位检测方法的确定
2.5 本章小结
第三章 金属薄膜厚度相位检测法的测量模型
3.1 Kretschmann多层结构模型
3.1.1Kretschmann三层结构模型
3.1.2 Kretschmann四层结构模型
3.1.3 Kretschmann多层结构模型
3.2 金属薄膜种类的选取
3.2.1不同金属薄膜的介电常数
3.2.2 不同金属薄膜的反射光谱
3.3 金属薄膜厚度对反射光谱的影响
3.3.1三层结构模型中金属薄膜厚度的影响
3.3.2 四层结构模型中金属薄膜厚度的影响
3.4 金属薄膜厚度的相位检测法
3.4.1单层金属薄膜厚度的测量模型
3.4.2 双层金属薄膜厚度的测量模型
3.5 本章小结
第四章 测量系统的设计与实现
4.1 测量系统的整体结构
4.2 光学系统的结构
4.2.1 干涉结构的选择
4.2.2 光学系统的布局
4.2.3 干涉条纹的形成
4.3 实验器件的选择
4.3.1 激光器
4.3.2 激光准直扩束镜
4.3.3 直角棱镜
4.3.4 四自由度运动平台
4.3.5 CCD相机
4.3.6 其它光学元件
4.4 镀膜棱镜的制备
4.4.1 单层金属薄膜的制备
4.4.2 双层金属薄膜的制备
4.5 本章小结
第五章 实验研究与误差分析
5.1 实验研究综述
5.2 单层金属薄膜厚度测量的实验研究
5.3 双层金属薄膜厚度测量的实验研究
5.4 误差分析
5.4.1 测量模型的理论误差
5.4.2 实验器件的性能误差
5.4.3 图像处理的计算误差
5.4.4 机械部分的安装误差
5.4.5 外界因素造成的环境误差
5.5 本章小结
第六章 总结与展望
6.1 本课题完成的主要工作
6.2 本课题的创新点
6.3 工作展望
参考文献
发表论文和参加科研情况说明
致谢
