相对光强原理测量纳米级润滑薄膜厚度的研究

摘要

本文采用了相对光强原理测定润滑膜的厚度。增强了测量结果抗外界干扰的性能，提高了测量膜厚的分辨率，最后给出的实验结果表明得该原理测量膜厚是可行的。