纳米级薄膜厚度自动椭偏测量系统设计

摘要

椭圆偏振测量技术特别适于测量纳米级薄膜的厚度和折射率.本文介绍一种新型的反射消光型椭偏薄膜厚度自动测量仪的测量原理和仪器系统设计方法,详细分析了等幅椭圆偏振光的获取方法,椭偏参数测量方法以及仪器结构方面的设计问题,并报道了仪器样机已达到的性能标.