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在钛酸锶钡体材上溅射厚铜膜工艺

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摘要

采用磁控溅射的方法在钛酸锶钡材料上涂覆金属铜膜.通过试验确定了钛酸锶钡电光材料进行溅射镀厚膜时的工艺参数,并对膜层的表面质量、附着性能和膜均匀性的影响进行了分析,指出了获得优良的厚铜膜层的实现途径和方法.

著录项

来源
《新技术新工艺》 |2008年第6期|78-80|共3页
作者
张晔; 解启林; 朱启政; 孙建强;
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作者单位

中国电子科技集团公司,第38研究所,安徽,合肥,230031;

中国电子科技集团公司,第38研究所,安徽,合肥,230031;

中国电子科技集团公司,第38研究所,安徽,合肥,230031;

河北科技大厦,后勘集团,河北,石家庄,050018;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类薄膜技术;
关键词
钛酸锶钡; 磁控溅射; 厚铜膜;

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