微传感器加速度计被模拟成为具有端头质量块悬臂梁的线性动力学

摘要

应用硅微传感器技术研制的这两种加速度计，一种加速度计将用来测相当10-6g数量级的加速度，而另一种则用来测量10-6g范围的加速度。推导这些仪表动态模型有助于其设计和特征化。两种类型的加速度计的模按悬梁固定在一端，而质量块固定在自由端。