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陈涛; 孙立宁; 陈立国; 荣伟彬; 李昕欣; 王家畴;
苏州大学机器人与微系统研究中心;
哈尔滨工业大学机器人技术与系统国家重点实验室;
中科院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点联合实验室;
微机电系统; 侧壁压阻; 力传感器;
机译:利用侧壁掺杂法设计压阻三轴力传感器探头
机译:嵌入式Si压阻式压力传感器的新通用优点图
机译:CMOS集成式多晶硅压阻式压力传感器
机译:四个感应元件的侧壁掺杂四轴压阻式力传感器探头
机译:柔性基板上的MEMS压阻式压力传感器,采用镍铬合金和CNT /聚酰亚胺纳米复合材料作为压阻器。
机译:用于全SiC压阻式压力传感器应用的SiC密封腔结构的制造
机译:压阻式压力传感器:对超高敏感压阻式压力传感器的协同抗性调制(ADV。Mater。Technol.4/2020)
机译:Kilobar Blast压力传感器 - 使用硅传感器技术的3.4 Kilobar压阻式爆破压力传感器
机译:压阻式压力传感器和生产压阻式压力传感器的过程
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