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低能电子点源显微镜的研制及初步实验结果

         
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摘要

研制了一台集低能电子点源显微镜和场发射显微镜于一体的设备.研制的过程中,解决了包括超高真空的获得,外界振动的隔离,爬行器及其控制电路的设计,场发射电流-电压自动测量,超高真空换样等一系列问题.利用该设备,获得了放大倍数大于104的投影像,并且测量了单根多壁碳纳米管的场发射特性.

著录项

  • 来源
    《现代科学仪器》 |2006年第5期|49-52|共4页
  • 作者

    柏鑫; 肖桂里; 于洁; 张兆祥; 郭等柱; 赵兴钰; 薛增泉; 张耿民;

  • 作者单位

    北京大学信息科学技术学院电子学系,纳米器件物理与化学教育部重点实验室,北京,100871;

    北京普莱思科技有限责任公司;

    北京大学信息科学技术学院电子学系,纳米器件物理与化学教育部重点实验室,北京,100871;

    北京大学信息科学技术学院电子学系,纳米器件物理与化学教育部重点实验室,北京,100871;

    北京大学信息科学技术学院电子学系,纳米器件物理与化学教育部重点实验室,北京,100871;

    北京大学信息科学技术学院电子学系,纳米器件物理与化学教育部重点实验室,北京,100871;

    北京大学信息科学技术学院电子学系,纳米器件物理与化学教育部重点实验室,北京,100871;

    北京大学信息科学技术学院电子学系,纳米器件物理与化学教育部重点实验室,北京,100871;

  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 chi
  • 中图分类 光学仪器;
  • 关键词

    低能电子点源显微镜; 场发射显微镜; 场发射特性;

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