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平滑性; SiC; 功率半导体; 晶圆; 表面; 昭和电工; 碳化硅;
机译:Showa Denko和功率半导体SIC外延晶圆项目
机译:表面C / Si比对高速晶圆旋转垂直CVD生长的4H-SiC同质外延膜的晶圆内均匀度和缺陷密度的影响
机译:高速晶圆旋转垂直CVD工具在n型4H-SiC外延膜上实现高晶圆内生长速率和载流子浓度的均匀性
机译:精确温度控制对大直径晶圆的4H-SIC外延的影响
机译:方向性光学天线,晶圆级超颖表面和单分子表面增强拉曼散射。
机译:Si(111)衬底上异质外延生长3C-SiC的动力学表面粗糙化和晶圆弯曲控制
机译:基于Gasb的外延到Gaas的晶圆键合和外延转移,用于热光电器件的单片互连
机译:SIC晶圆生产方法,外延晶圆生产方法和外延晶圆
机译:SiC晶圆缺陷的测量方法,参考样品以及制造SiC外延晶圆的方法
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