不同基片掺杂氧化锌薄膜光学特性的对比研究

摘要

本论文阐述了不同基片掺杂ZnO薄膜的各种生长技术及原理,在玻璃和硅的衬底上采用磁控溅射的方法沉积ZnO薄膜,并用光谱仪设备分析和表征了它的反射率、光致发光性能.结果显示,相同基底掺杂不同材料ZnO薄膜所对应不同波段的反射率和光致发光性质是不同的.例如,玻璃基底上掺钇ZnO薄膜在紫外线波段反射率较好;硅基底上掺镁ZnO薄膜在紫光波段反射率较好;红光波段掺镁ZnO薄膜所对应的峰的强度最大,所对应的光致发光性能好.