MOCVD有机金属铂前体研究进展

摘要

金属有机化学气相沉积(MOCVD)作为一种常见的金属材料制备方法,可在远低于金属熔点或分解温度的条件下制备各种金属薄膜、异质结构,这受到了研究者们的广泛青睐.而前驱体的热特性在很大程度上决定了铂薄膜的结构与性质.合适的MOCVD前驱体需要具有良好的挥发性、汽化时的热稳定性、在空气中稳定和易于制备的高产率.本文重点介绍了几种使用较广、性能优异的含铂材料制备的有机金属铂前驱体.