电子束曝光机图形处理系统

摘要

本文针对现有电子束曝光机在图形处理过程中存在的一些问题，提出了以辅助配微机来增强原机处理能力的方法。对曝光机的图形处理过程及异机通讯等问题作了较详细的介绍。