正面腐蚀方法制作新型微机械红外热堆探测器

摘要

阐述了微机械制造工艺制作红外热堆探测器的方法,其采用新的正面湿法腐蚀的方法释放体硅,获得悬梁结构的红外热堆探测器.该探测器用LPCVD(低压化学气相沉积)氮化硅膜,与热氧化得到的氧化硅膜形成三明治结构作为热偶对的支撑结构;热偶材料采用多晶硅与金属.实验结果表明这是一种很有前景的制作方法.