Bi2Te3——Bi2Se3——Sb2Te3赝三元热电材料红外热堆探测器的…

摘要

本文所提出的红外辐射探测器是由具有同一个辐射接收面、６对热电偶串联而成。所选用的热电材料为具有高优值系数的Ｂｉ２Ｔｅ３－Ｂｉ２Ｓｅ３－Ｓｂ２Ｔｅ３赝三元热电合金材料。通过器件尺寸的优化，取得了较高的灵敏度。文中系统阐述了探测器的制作工艺和器件性能。