公开/公告号CN111412996B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-10-01
原文格式PDF
申请/专利权人 无锡物联网创新中心有限公司;
申请/专利号CN202010295901.3
申请日2020-04-15
分类号G01J5/20(20060101);H01L35/30(20060101);
代理机构11250 北京三聚阳光知识产权代理有限公司;
代理人王艺涵
地址 214135 江苏省无锡市新吴区菱湖大道200号中国传感网国际创新园B栋4楼
入库时间 2022-08-23 12:34:09
机译: 高性能MEMS热电堆红外探测器的结构与制造方法
机译: 热电堆红外探测器包装结构
机译: 用作传感器或演员的微结构化设备,例如金属氧化物气体传感器,红外辐射器,流量传感器,高温计或其他基于热电堆的微传感器,在热活性区域和支撑之间具有热解耦聚合物