结构自对准制作微机械热堆红外探测器的红外吸收层方法

摘要

一种结构自对准制作微机械热堆红外探测器的红外吸收层方法，属于微机械领域，其特点是从单晶硅片的正面和反面同时进行腐蚀，在热堆背面得到一个与红外吸收区大小相仿的窗口，通过此窗口的对准作用，在氮气氛下蒸发黑体，使黑体沉积在热堆的背后。所以本发明的最为关键的工艺是利用硅各向异性腐蚀生成的结构，自对准沉积黑体制作红外吸收层。这样既可一次成型，省去了光刻等相关工艺，降低了生产成本；又可精确定位生成红外吸收层，提高器件的成品率。