PDMS薄膜电磁微泵的原理与制作

摘要

铁硼永磁薄片以及下部的平面线圈。与硅膜相比，这种泵膜材料使用寿命长，物理化学性质稳定，光学特性和机械特性优良。下部的通电线圈与固连在泵膜上的钕铁硼相互作用，从而引起泵腔体积的变化，进而控制微量流体的进出。泵膜驱动面积为6mm×6mm，厚度为40μm，在频率为5Hz，80mA AC方波信号驱动下，竖直方向上位移可达300μm。