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不同波段近紫外光在SU-8胶中穿透深度的研究

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摘要

通过对SU-8胶近紫外波段下透射光谱的分析,得到不同波长近紫外光在SU-8胶中的穿透深度,并分析了不同波段近紫外光对SU-8胶微结构的影响,结果表明穿透深度大的近紫外波段曝光出来的图形质量好,深宽比大,侧壁陡直.

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来源
《微细加工技术》 |2004年第1期|38-40,46|共4页
作者
李雄; 徐智谋; 易新建; 何少伟; 刘胜; 连昆;
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作者单位

华中科技大学光电子工程系,武汉,430074;

华中科技大学,微系统研究中心,武汉,430074;

华中科技大学光电子工程系,武汉,430074;

华中科技大学,微系统研究中心,武汉,430074;

华中科技大学光电子工程系,武汉,430074;

华中科技大学,微系统研究中心,武汉,430074;

华中科技大学光电子工程系,武汉,430074;

华中科技大学,微系统研究中心,武汉,430074;

华中科技大学光电子工程系,武汉,430074;

Louisiana State University, Baton Rouge, LA 70806;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类光刻、掩膜;
关键词
穿透深度; SU-8胶; MEMS; UV-LIGA;

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