Si＋注入GaAs及其退火中SiO2包封的作用

摘要

对Ｓｉ＾＋注入ＧａＡｓ的前后及其退火的前后用和不用ＳｉＯ２包封进行了对比实验。包封退火大大提高了注入离子的激活率；在包封退火的情况下，光片注入的要比贯穿注入的载流子分布窄。所以，光片注入后包封退火较实用，它使载流子分布窄，激活率高。