用三点连环干涉法测量环形平面的形状误差

摘要

在生产中常遇到高精度圆环形平面的平面度误差测量问题。对于径向宽度远小于周向长度的较大环形平面,在缺乏相应的大平晶情况下,本文提出采用三点连环干涉法,沿圆环周向测量其环形端面的类直线度误差,以近似代替平面度误差的测量。