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元器件表面缺陷新型检测装置

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摘要

巧用光学构件形成平行光束回转,使结构简单而小型化,脉冲检测采用次摆线扫描,缩短了检测时间,利用光一次回转周期的脉冲振荡模式,能识别被测元器件的不同表面缺陷(伤痕,裂纹,裂缝等)、分布密度及其交错状态.

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来源
《计量技术》 |2007年第5期|79-80|共2页
作者
宋晓辉; 杨清风;
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作者单位

安徽立达信息技术研究所,合肥,230061;

安徽立达信息技术研究所,合肥,230061;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类计量学;
关键词
表面缺陷; 伤痕; 裂缝; 平行光束; 次摆线扫描;

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