氮化硼薄膜制备技术研究进展

摘要

简述了氮化硼的优异性能和广阔的应用前景，概述了氮化硼薄膜的制备方法，分析了薄膜制备过程中的影响因素，最后对氮化硼薄膜今后的研究方向提出展望。