真空阴极电弧沉积(Ti,Al)N薄膜的应用研究

摘要

为了提高TiN涂层刀具的耐磨性,采用钛铝合金靶,以真空阴极电弧沉积法制备了(Ti,Al)N涂层.对膜层形貌成分、组织结构及硬度进行了测试及研究,并试验了(Ti,Al)N涂层高速钢钻头及YG6硬质合金刀具的使用寿命.结果表明:(Ti,Al)N涂层硬度高达HV0.1,153700,(Ti,Al)N涂层使高速钢钻头及YG6硬质合金刀具的使用寿命显著提高.