真空电弧沉积Ti薄膜过程的静电探针诊断

摘要

本文描述了Langmiur静电探针测量系统的构成,该系统可用于等离子体特性的诊断。用该系统检测了等离子体沉积Ti薄膜过程中电子密度与电子温度的典型值。实验表明,该系统性能良好,具有强的抗干扰能力,测量精度高、可以应用于真空电弧沉积过程的监控。