极板间距对DLC薄膜拉曼光谱的影响

摘要

采用射频等离子增强化学气相沉积法(RF-PECVD),使用CH4和H2作为气源,通过改变极板间距,在Si(100)衬底上制备类金刚石(DLC)膜。采用拉曼光谱表征DLC薄膜的微观结构,结果表明,制备的薄膜中含有sp3、sp2杂化碳键,具有典型的类金刚石结构特征,且以六方或菱方结构存在。通过分峰及计算表明:G峰位置和ID/IG值不断上升的趋势说明薄膜和衬底之间的应力逐渐改变,薄膜中六角碳环结构的含量随着极板间距的上升而不断增加;随着极板间距在8~17 cm范围内的增大,sp3键的含量在0%~20%范围内先减少后增加。